激光镭射光刻机的工作原理与优点
- 2020-06-22-
激光镭射加工技术是上世纪六十年代初发展的学科,具有巨大的技术潜力。经过多年的发展,激光镭射光刻机已成为先进制造技术不可或缺的组成部分。因为其有单相、平行、相干三个特征,特别适合材料加工,广泛应用于冲孔、焊接、热处理等多个领域。
激光镭射光刻机的工作原理是以激光为热源,对工件进行热加工。其是用激光束照射工件表面,利用激光的超高能切除熔化材料,改变物体表面的性能。由于激光加工时工具与工件不直接接触,不会产生摩擦阻力,因此激光加工具有非常快的加工速度,在较小的热影响范围内不会产生噪音。
与以往的热加工相比,用激光镭射加工材料有以下优点:(1)加工对象广泛。激光可加工各种金属和非金属材料,特别用于加工高硬度、耐热合金、陶瓷、宝石、石英、玻璃等硬而脆的非金属材料。(2)加工质量好,精度高。激光的能量密度高,加工速度快,工件变形小,可以进行高速加工。如激光镭射光刻机的转子平衡精度可达到微米级或亚微米级。(3)节约了能源和材料的消耗,热变形小,可以省略二次加工。经济效益高,设备操作维持成本低。(4)激光加工公害小,能在极端环境下操作。
以上就是激光镭射光刻机的工作原理与优点。研究人员必须以技术为先,注重产品产业化、规模化的研究,不断创新,不断进步,感谢阅读。
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